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设备应用8imch以下晶圆尺寸旋干制程;触控人机搭配PLC的软件控制对旋干步骤进行程序化控制;使用无刷式马达控制系统,转速最高可达3000rpm,振动值控制350um以下;DI Water清洗辅助系统;Hot N2干燥辅助系统