设备应用9imch以下光刻版尺寸清洗制程；
触控人机搭配PLC的软件控制，对各制程步骤进行参数控制；
使用无刷式马达控制系统，转速最高可达3000rpm，转速精度2rpm；
化学品摆臂清洗系统；
HVS摆臂清洗系统；
DI Water正/背面清洗系统；
高转速旋干系统;