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晶圆旋干机
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<p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">设备应用8imch以下晶圆尺寸旋干制程；<br/>触控人机搭配PLC的软件控制对旋干步骤进行程序化控制；<br/>使用无刷式马达控制系统，转速最高可达3000rpm，振动值控制350um以下；<br/>DI Water清洗辅助系统；<br/>Hot N2干燥辅助系统</span></p>
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