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半自动有机溶剂清洗机

半自动有机溶剂清洗机

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前后槽位布局模块设计，一套模块由2个制程槽位结合 机台材质为不锈钢镜面钣金,全罩防护式焊接组装。 设备应用湿法制程有机溶剂清洗，触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制，由机械手臂180度旋转设计执行槽位间的晶圆输送，依制程需求或场地需求，配置多款制程槽位模块，提高产能输出，生产流程更有效率管控，各种安全防护标准设计，针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。
半自动酸碱蚀刻清洗机

半自动酸碱蚀刻清洗机

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前后槽位布局模块设计，一套模块由2个制程槽位结合 机台材质为塑材PP/PVC,全罩防护式焊接组装。 设备应用湿法制程酸碱蚀刻清洗，触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制，由机械手臂180度旋转设计执行槽位间的晶圆输送，依制程需求或场地需求，配置多款制程槽位模块，提高产能输出，生产流程更有效率管控，各种安全防护标准设计，针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。
全自动有机溶剂清洗机

全自动有机溶剂清洗机

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横向隧道型槽位布局设计，依序为上货区>>制程区>>下货区 机台材质为不锈钢镜面钣金,全罩防护式焊接组装。 设备应用湿法制程有机溶剂清洗，PC搭配PLC的软件控制，由机械手臂执行各槽位站点的晶圆输送，各制程槽的参数执行，提高产能输出，生产流程更有效率管控，各种安全防护标准设计，针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。
全自动酸碱蚀刻清洗机

全自动酸碱蚀刻清洗机

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横向隧道型槽位布局设计，依序为上货区>>制程区>>下货区 机台材质为塑材PP/PVC,全罩防护式焊接组装 设备应用湿法制程酸碱蚀刻清洗，PC搭配PLC的软件控制，由机械手臂执行各槽位站点的晶圆输送，各制程槽的参数执行，提高产能输出，生产流程更有效率管控，各种安全防护标准设计，针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。
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