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光罩清洗机
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<p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">设备应用9imch以下光刻版尺寸清洗制程；<br/>触控人机搭配PLC的软件控制，对各制程步骤进行参数控制；<br/>使用无刷式马达控制系统，转速最高可达3000rpm，转速精度2rpm；<br/>化学品摆臂清洗系统；<br/>HVS摆臂清洗系统；<br/>DI Water正/背面清洗系统；<br/>高转速旋干系统;</span></p>
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