横向隧道型槽位布局设计，依序为上货区>>制程区>>下货区

机台材质为不锈钢镜面钣金,全罩防护式焊接组装。

设备应用湿法制程有机溶剂清洗，PC搭配PLC的软件控制，由机械手臂执行各槽位站点的晶圆输送，各制程槽的参数执行，提高产能输出，生产流程更有效率管控，各种安全防护标准设计，针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。